一般社団法人 日本半導体製造装置協会

その他講演会・セミナー

リソグラフィ専門委員会「後工程向け基板および露光技術の最新動向」「脱PFASに向けたリソグラフィ材料開発の動向」

対象

対面,WEB：リソグラフィ専門委員会 /技術部会傘下４委員会 /会員企業

主旨

SEAJリソグラフィ専門委員会では、最新のリソ技術、Logic、DRAM、SCM等のデバイスごとの最新技術、国際情勢やそれに伴う市場の最新動向に関する講演会の開催を通じて、会員企業の皆様の利益に資する機会を提供しております。

このたび、第一部では【後工程向け基板および露光技術の最新動向】として、
　講演Ⅰ：信越化学工業株式会社 山﨑様に「後工程・チップレット」
　講演Ⅱ：株式会社ニコン 加藤様に「後工程・露光装置」をテーマにご講演を、
第二部では【脱PFAS】をテーマに、
　講演Ⅲ：メルクエレクトロニクス株式会社 仁川様　 にご講演いただきます。

環境を取り巻く国際情勢の変化を迅速に把握し、他社様の具体的な取り組みを共有することは、皆様に多くの貢献をもたらすことと考えております。
皆様のご参加をお待ちしております。

開催日程・場所

セミナーテーブル
お申し込み 開催日程 開催場所
参加申込 2025年 1月 29日(水) SEAJ会議室/WEB（Teams）

講師

講師Ⅰ　信越化学工業株式会社　微小材料システム事業推進室　山﨑 瑛一朗 氏（YAMASAKI, Eiichiro）

講師Ⅱ 株式会社ニコン　精機事業本部 次世代事業開発統括部 プロジェクト推進室 加藤 正紀　氏（KATO,Masaki）

講師Ⅲ メルク エレクトロニクス株式会社 R&D PFAS-Free Core Products Gr.Manager 仁川 裕　氏（HITOKAWA, Hiroshi）

内容

第一部【後工程向け基板および露光技術の最新動向】

講演Ⅰ：信越化学が後工程半導体パッケージ基板向け製造装置と新工法を提案します。当社の材料技術と独自の光学技術を有するエキシマレーザ技術を融合することで、インターポーザ機能をパッケージ基板に盛り込むことが可能な微細加工を実現します。

講演Ⅱ：2024年10月にプレスリリースを行ったニコン初の後工程向けデジタル露光装置（デジタルスキャナー）について、その開発のモチベーション、背景、これまでに培ってきた露光装置の保有技術等を交えて、開発の経緯及び、我々のデジタル露光装置の概要、特徴、主要な性能等の紹介をさせていただきます。

第二部【脱PFASに向けたリソグラフィ材料開発の動向】

講演Ⅲ：【脱PFAS】へ向けた世界情勢の変化と規制の動向を知るとともに、半導体製造に関わるエンジニアとして果たすべき責任を再認識することでいかにフッ素材料からの脱却を果たすかを考えています。各材料の特性を知ることで代替え技術の開発を進めており、メルクの開発品にも展開していますのでその紹介をさせていただきたいと思います。
一方でPFASに限らず有機物質による汚染を防ぐために、今後必要になる業界の取り組みも改めて考えていきたいと思っています。

タイムテーブル

テーブル2セル
スケジュール 講義名
14：50
講演会第一部
接続開始
14：58 注意事項のご案内
ご挨拶
15：00 講演Ⅰ　
質疑応答
15：30 講演Ⅰ終了
15：30 講演Ⅱ
質疑応答
16：00 講演会第一部　終了
16：10 講演会第二部
接続開始
16：18 注意事項のご案内
ご挨拶
16：20 講演Ⅲ
質疑応答
16：55 アンケート依頼
ご挨拶
17：00 接続終了

■お申し込み■

お申込み後、自動配信メールが返信されます。メールが届かない場合は正しく受け付けられていない可能性がありますので、↓事務局担当までお問い合わせください。

■お問い合わせ■

担当：SEAJ事務局　大久保/松尾　
TEL：03-3261-8262　e-mail: souchi.seigyo★seaj.or.jp

↑上記の「★」記号を「@」半角記号に置き換えて下さい。

■当日の接続URLについて■

2，3日前頃、頁トップに【リソグラフィ専門委員会「後工程向け基板および露光技術の最新動向」「脱PFASに向けたリソグラフィ材料開発の動向」】を掲載し、開封PWを、いただいたメールアドレスに配信します。接続URLをご確認いただけます。

■事前準備■　　

Teamsに接続する為に、以下について準備をお願いします。　
インターネットに接続できるPC
音声デバイス（マイク・スピーカー）

◇サポートされているブラウザ
Microsoft Edge　Chrome　他
Teams講演会で利用するPCの環境を事前にご確認の上、ご利用ください。

あらかじめアプリをインストールされますと、スムーズにゲストとして利用をすることができます。インストールをせずに、ブラウザでのご参加も可能です。

また、音声/カメラデバイスの設定をテストしていただくことをお勧めいたします。

◇テスト通話を行う
テスト呼び出しを行う場合は、設定 Teams の上部にあるプロファイル画像の横にある [ その他のオプションを表示する場合に選択します など] を選択し、[設定> デバイス] を選択します。 [オーディオ デバイス] で [テスト通話を行う] を選択します。※詳細はMicrosoft Teamsのページへ

■当日の参加手順について■

  1. 頁トップの「リソグラフィ専門委員会講演会250129URL.pdf」をクリックし、記載の接続URLにアクセスしてください。
  2. （アプリをインストールしない場合はWebブラウザが起動し、）Teams講演会の画面が開きます。
  3. カメラの使用許可を求められる場合があります。「ブロック」を選択して構いません。
  4. [名前を入力] を入力し、[参加] をクリックします。オンライン講演会開催中に表示される名前を入力可能な場合は、「会社名」「氏名」がわかるようにして、事務局の出欠確認にご協力ください。　例）SEAJ松尾
  5. Teams会議待合画面から主催者（事務局）にOKされると、Teams会議の画面が表示されます。共有画面が現れ、音楽が聴こえますので、音声調整にお役立てください。
    ★右下の人のマークをクリックすると会議の参加者が表示されます。★右下の吹き出しマーク（青枠）をクリックすると、チャット（インスタントメッセージ）の入力エリアが表示されます。

■その他Teams使用の際の注意事項■

  • 今後のセミナー運営の参考にする為、セミナーを録画させていただく場合がございます。予めご了承ください。※皆様は録音・録画をご遠慮下さい。
  • 講義中のご質問は「チャット」をご利用ください。
    【内容について】ご質問は各講演終了後に予定しております質疑応答の際に回答いたします。⇒・質問の仕方について
    【その他】ご質問は事務局よりチャットで返信いたします。
  • 質問の仕方について
  1. 講義中では「チャット」をご利用ください。各講演後の質疑応答の時に回答いたします。
  2. 講演終了後は「挙手」をご利用ください。「挙手」の上、司会者の指示に従いご発言下さい。※ご質問はできるだけ早い方から順に対応いたします。
    ※時間内に回答しきれなかった場合は、講演会終了後のアンケートにご記入下さい。

    その他ご不明な点、ご質問等ございましたら下記連絡先までお問合せください。
    担当：SEAJ事務局　大久保/松尾　03-3261-8262
  3. souchi.seigyo★seaj.or.jp 　
  4. ↑「★」記号を「@」半角記号に置き換えて下さい。
  • 1/29(月)当日はメールでのご連絡をお願いいたします。
To Top