役員（※役職名は2024年5月30日 第13回定時社員総会開催日時点）
| 会長 | 河合 利樹 | 東京エレクトロン株式会社 | 代表取締役社長 兼 CEO |
|---|---|---|---|
| 副会長 | 牛田 一雄 | 株式会社ニコン | 取締役 取締役会議長 |
| 副会長 | 吉田 芳明 | 株式会社アドバンテスト | 取締役 会長 |
| 副会長 | 後藤 正人 | 株式会社SCREENホールディングス | 専務執行役員 |
| 専務理事 | 渡部 潔 * | 一般社団法人 日本半導体製造装置協会 | |
| 常任理事 | 浅見 正男 | 株式会社荏原製作所 | 取締役 代表執行役社長 CEO&COO |
| 常任理事 | 武石 洋明 | キヤノン株式会社 | 専務取締役 |
| 常任理事 | 重﨑 隆 | 株式会社シバソク | 代表取締役会長 |
| 常任理事 | 小室 修 | 株式会社日立ハイテク | 常務執行役員 |
| 理事 | 清水 康男 | 株式会社アルバック | 常務執行役員 装置事業本部長 |
| 理事 | 安部 建吉 | ウシオ電機株式会社 | 執行役員 光プロセス 事業部長 |
| 理事 | 金井 史幸 | 株式会社KOKUSAI ELECTRIC | 代表取締役 社長執行役員 |
| 理事 | 田中 雅彦 | 株式会社島津製作所 | 執行役員 産業機械事業部長 |
| 理事 | 大岡 文彦 | ヤマハロボティクスホールディングス株式会社 | 株式会社新川 代表取締役社長 |
| 理事 | 田澤 豊彦 | 日本電子株式会社 | 取締役兼専務執行役員 |
| 理事 | 長谷川 正義 | 株式会社日本マイクロニクス | 代表取締役社長 |
| 理事 | 田中 久士 | 株式会社フジキン | 代表取締役社長 |
| 理事 | 堀場 厚 | 株式会社堀場製作所 | 代表取締役会長 兼 グループCEO |
| 理事 | 仙洞田 哲也 | レーザーテック株式会社 | 取締役副社長執行役員 |
| 監事 | 木村 龍一 | 株式会社東京精密 | 代表取締役社長COO |
| 監事 | 高松 潤 | 株式会社ニューフレアテクノロジー | 代表取締役社長 |
| 監事 | 菅原 和信 | 菅原和信公認会計士事務所 | 公認会計士 |
【 2024年5月30日現在 】
- * 専務理事は常勤。その他の役員は非常勤です
- 役職は2024年5月30日 SEAJ役員就任時のものです