その他講演会・セミナー

ウェーハプロセス専門委員会主催「人工物メトリクスの世界」

対象

ウェーハプロセス専門委員会 / 技術部会とその直轄４専門委員会メンバ / ウェーハプロセス専門委員会参加企業の関係者
SEAJ会員企業⇒https://www.seaj.or.jp/about/company.html
SEAJ組織図⇒https://www.seaj.or.jp/about/about.html

主旨

人工物メトリクスは、半導体製造装置の信頼性向上とトレーサビリティ確保に革新的なソリューションをもたらす可能性を秘めています。本講演を通じて、この技術の重要性と将来性を理解し、多くの企業が人工物メトリクスを導入することで、より高品質な半導体デバイス製造に貢献することを目指します。
講演後に、ラベルを貼ることのできない部材に対する人工物メトリクスの適用可能性について、参加者全員で活発な議論を展開したいと考えております。

開催日程・場所

講師

松本　勉　氏（MATSUMOTO,Tsutomu）

国立研究開発法人　産業技術総合研究所　フェロー
サイバーフィジカルセキュリティ研究センター　研究センター長
横浜国立大学　上席特別教授

内容

半導体製造装置の高度化に伴い、装置内の部品の信頼性とトレーサビリティ確保がますます重要となっています。従来のラベルを用いた管理方法では、微細な部品や過酷な環境下での使用に限界があり、新たな手法が求められています。半導体製造装置を構成する部品や部材の他に、製造される半導体製品やその構成要素等の個体管理に関してもサプライチェーンセキュリティの観点から有用なトレーサビリティ技術が求められています。

本公演では、近年注目を集めている「人工物メトリクス」という技術に着目し、半導体製造装置産業および広く半導体産業への応用可能性を探ります。

人工物メトリクスは、個々の物体に固有の物理的な特徴を数値化し、そのパターンを比較することで、個体識別や真贋判定を行う技術ですが、本公演では、
●　人工物メトリクスの原理と特徴
●　利便性指向の用途とセキュリティ指向の用途
●　個別性、読取り安定性、耐久性、耐クローン性などの要件
●　精度評価方法
●　適用にあたっての国際標準規格
●　具体的な技術の事例や活用事例
などにつきご紹介します。また、
●　先端的な人工物メトリックシステムの研究事例
についても技術的なご説明を行います。これらをベースとして
●　半導体製造装置産業または広く半導体産業における適用の可能性
についてディスカッションできることを期待しています。

タイムテーブル

2，3日前頃、頁トップに「ウェーハプロセス専門委員会講演会241125URL.pdf」を掲載し、開封PWを、いただいたメールアドレスに配信します。接続URLをご確認いただけます。

■事前準備■　　

Teamsに接続する為に、以下について準備をお願いします。　
インターネットに接続できるPC
音声デバイス（マイク・スピーカー）

◇サポートされているブラウザ
Microsoft Edge　Chrome　他
Teams講演会で利用するPCの環境を事前にご確認の上、ご利用ください。

あらかじめアプリをインストールされますと、スムーズにゲストとして利用をすることができます。インストールをせずに、ブラウザでのご参加も可能です。

また、音声/カメラデバイスの設定をテストしていただくことをお勧めいたします。

◇テスト通話を行う
テスト呼び出しを行う場合は、設定 Teams の上部にあるプロファイル画像の横にある [ など] を選択し、[設定> デバイス] を選択します。 [オーディオ デバイス] で [テスト通話を行う] を選択します。※詳細はMicrosoft Teamsのページへ

■当日の参加手順について■