ウェーハプロセス専門委員会主催「人工物メトリクスの世界」
★配布資料
人工物メトリクスの世界_SEAJ講演_松本勉_20241125R.pdf
ご講演者の松本様より資料を拝受しました。
ダウンロードしてご覧いただけます。
お申込みいただきました皆様には開封PWをお送りいたします。11/26(火)~
★講演会終了後、アンケートへのご協力をよろしくお願いいたします。
https://forms.office.com/r/uNp3zAeRnT
★当日の接続URL
技術講演会241125URL.pdf
お申込みいただきました皆様に↑PDFの開封PWをお送りします。11/22(金)~
対象
ウェーハプロセス専門委員会 / 技術部会とその直轄4専門委員会メンバ / ウェーハプロセス専門委員会参加企業の関係者
SEAJ会員企業⇒https://www.seaj.or.jp/about/company.html
SEAJ組織図⇒https://www.seaj.or.jp/about/about.html
主旨
人工物メトリクスは、半導体製造装置の信頼性向上とトレーサビリティ確保に革新的なソリューションをもたらす可能性を秘めています。本講演を通じて、この技術の重要性と将来性を理解し、多くの企業が人工物メトリクスを導入することで、より高品質な半導体デバイス製造に貢献することを目指します。
講演後に、ラベルを貼ることのできない部材に対する人工物メトリクスの適用可能性について、参加者全員で活発な議論を展開したいと考えております。
開催日程・場所
お申し込み | 開催日程 | 開催場所 |
---|---|---|
参加申込 | 2024年 11月 25日(月) | SEAJ会議室+WEB(Teams)ハイブリッド開催 |
講師
松本 勉 氏(MATSUMOTO,Tsutomu)
国立研究開発法人 産業技術総合研究所 フェロー
サイバーフィジカルセキュリティ研究センター 研究センター長
横浜国立大学 上席特別教授
内容
半導体製造装置の高度化に伴い、装置内の部品の信頼性とトレーサビリティ確保がますます重要となっています。従来のラベルを用いた管理方法では、微細な部品や過酷な環境下での使用に限界があり、新たな手法が求められています。半導体製造装置を構成する部品や部材の他に、製造される半導体製品やその構成要素等の個体管理に関してもサプライチェーンセキュリティの観点から有用なトレーサビリティ技術が求められています。
本公演では、近年注目を集めている「人工物メトリクス」という技術に着目し、半導体製造装置産業および広く半導体産業への応用可能性を探ります。
人工物メトリクスは、個々の物体に固有の物理的な特徴を数値化し、そのパターンを比較することで、個体識別や真贋判定を行う技術ですが、本公演では、
● 人工物メトリクスの原理と特徴
● 利便性指向の用途とセキュリティ指向の用途
● 個別性、読取り安定性、耐久性、耐クローン性などの要件
● 精度評価方法
● 適用にあたっての国際標準規格
● 具体的な技術の事例や活用事例
などにつきご紹介します。また、
● 先端的な人工物メトリックシステムの研究事例
についても技術的なご説明を行います。これらをベースとして
● 半導体製造装置産業または広く半導体産業における適用の可能性
についてディスカッションできることを期待しています。
タイムテーブル
テーブル2セル
スケジュール
講義名
14:45
接続開始
15:15
開催挨拶ご講演
16:15
ディスカッション
16:30
終了挨拶
スケジュール | 講義名 |
---|---|
14:45 | 接続開始 |
15:15 | 開催挨拶 ご講演 |
16:15 | ディスカッション |
16:30 | 終了挨拶 |
■お申し込み■
お申込み後、すぐに自動配信メールが返信されます。メールを確認できない場合は正しく受け付けられていない可能性がありますので、↓事務局担当までお問い合わせください。
■お問い合わせ■
担当:SEAJ事務局 大久保/松尾
TEL:03-3261-8262 e-mail: souchi.seigyo★seaj.or.jp
↑上記の「★」記号を「@」半角記号に置き換えて下さい。
■当日の接続URLについて■
2,3日前頃、頁トップに「ウェーハプロセス専門委員会講演会241125URL.pdf」を掲載し、開封PWを、いただいたメールアドレスに配信します。接続URLをご確認いただけます。
■事前準備■
Teamsに接続する為に、以下について準備をお願いします。
インターネットに接続できるPC
音声デバイス(マイク・スピーカー)
◇サポートされているブラウザ
Microsoft Edge Chrome 他
Teams講演会で利用するPCの環境を事前にご確認の上、ご利用
あらかじめアプリをインストールされますと、スムーズにゲストとして利用をすることができます。インストールをせずに、ブラウザでのご参加も可能です。
また、音声/カメラデバイスの設定をテストしていただくことをお勧めいたします。
◇テスト通話を行う
テスト呼び出しを行う場合は、設定 Teams の上部にあるプロファイル画像の横にある [ など] を選択し、[設定> デバイス] を選択します。 [オーディオ デバイス] で [テスト通話を行う] を選択します。※詳細はMicrosoft Teamsのページへ
■当日の参加手順について■
- 頁トップの「ウェーハプロセス専門委員会講演会241125URL.pdf」をクリックし、記載の接続URLにアクセスしてください。
- (アプリをインストールしない場合はWebブラウザが起動し、)Teams講演会の画面が開きます。
- カメラの使用許可を求められる場合があります。「ブロック」を選択して構いません。
- [名前を入力] を入力し、[参加] をクリックします。オンライン講演会開催中に表示される名前を入力可能な場合は、「会社名」「氏名」がわかるようにして、事務局の出欠確認にご協力ください。 例)SEAJ松尾
- Teams会議待合画面から主催者(事務局)にOKされると、Teams会議の画面が表示されます。共有画面が現れ、音楽が聴こえますので、音声調整にお役立てください。
★右下の人のマークをクリックすると会議の参加者が表示されます。★右下の吹き出しマーク(青枠)をクリックすると、チャット(インスタントメッセージ)の入力エリアが表示されます。
■その他Teams使用の際の注意事項■
- 今後のセミナー運営の参考にする為、セミナーを録画させていただく場合がございます。予めご了承ください。※皆様は録音・録画をご遠慮下さい。
- 講義中のご質問は「チャット」をご利用ください。
【内容について】ご質問は各講演終了後に予定しております質疑応答の際に回答いたします。⇒・質問の仕方について 【その他】ご質問は事務局よりチャットで返信いたします。 - 質問の仕方について
- 講義中では「チャット」をご利用ください。各講演後の質疑応答の
時に回答いたします。 - 講演終了後は「挙手」をご利用ください。「挙手」の上、司会者の
指示に従いご発言下さい。※ご質問はできるだけ早い方から順に対応いたします。
※時間内に回答しきれなかった場合は、講演会終了後のアンケートにご記入下さい。
その他ご不明な点、ご質問等ございましたら下記連絡先までお問合せください。
担当:SEAJ事務局 大久保/松尾 03-3261-8262 - souchi.seigyo★seaj.or.jp
- ↑「★」記号を「@」半角記号に置き換えて下さい。
- 11/25(月)当日12:00以降はメールでのご連絡をお願いいたします。