一般社団法人 日本半導体製造装置協会

その他講演会・セミナー

リソグラフィ専門委員会「半導体製造の環境負荷評価ならびにグリーン化技術を目指して」

対象

対面：リソグラフィ専門委員会とその関係者
WEB：リソグラフィ専門委員会/技術部会・環境部会傘下委員会

主旨

SEAJリソグラフィ専門委員会では、最新のリソ技術やLogic、DRAM、SCM等のデバイスごとの技術、市場動向に関する講演会の開催を通じて、最新情報を収集しています。その中で、製造過程において環境へ与える影響というものが、共通の懸案事項であり課題となっています。環境負荷を軽減するための最新技術や取り組みのご紹介は、業界全体の技術革新・意識の向上へとつながり、持続可能な未来にこそ業界のさらなる発展があると考えております。
皆様のご参加を心よりお待ちしております。

開催日程・場所

セミナーテーブル
お申し込み 開催日程 開催場所
参加申込 2024年 11月 20日(水) SEAJ会議室＋WEB（Teams）ハイブリッド開催

講師

右田　真司　氏（MIGITA,Shinji）

国立研究開発法人　産業技術総合研究所　先端半導体研究センター

内容

半導体デバイスのライフサイクル（原料調達、製造、使用から廃棄・リサイクルまで）における温室効果ガス排出量を計算すると、原材料や製造からの排出量が軽視できない大きさであることがわかる。ネットゼロを目指すためにも、これらの工程での排出量を削減する努力が必要である。この課題に取り組むために、産総研ではグリーンサステナブル半導体製造（Green Manufacturing Metrics:GMM）をキーワードに、データベース構築、プロセス解析、グリーン化技術開発、標準化活動、国際連携といった活動を進めている。

タイムテーブル

テーブル2セル
スケジュール 講義名
16:00 接続開始
16:10 開催挨拶
16:15 ご講演
質疑応答
16:45 アンケート依頼
16:50 接続終了

■お申し込み■

お申込み後、すぐに自動配信メールが返信されます。メールを確認できない場合は正しく受け付けられていない可能性がありますので、↓事務局担当までお問い合わせください。

■お問い合わせ■

担当：SEAJ事務局　松尾　
TEL：03-3261-8262　e-mail: souchi.seigyo★seaj.or.jp

↑上記の「★」記号を「@」半角記号に置き換えて下さい。

■当日の接続URLについて■

2，3日前頃、頁トップに「リソグラフィ専門委員会講演会241120URL.pdf」を掲載し、開封PWを、いただいたメールアドレスに配信します。接続URLをご確認いただけます。

■事前準備■　　

Teamsに接続する為に、以下について準備をお願いします。　
インターネットに接続できるPC
音声デバイス（マイク・スピーカー）

◇サポートされているブラウザ
Microsoft Edge　Chrome　他
Teams講演会で利用するPCの環境を事前にご確認の上、ご利用ください。

あらかじめアプリをインストールされますと、スムーズにゲストとして利用をすることができます。インストールをせずに、ブラウザでのご参加も可能です。

また、音声/カメラデバイスの設定をテストしていただくことをお勧めいたします。

◇テスト通話を行う
テスト呼び出しを行う場合は、設定 Teams の上部にあるプロファイル画像の横にある [ その他のオプションを表示する場合に選択します など] を選択し、[設定> デバイス] を選択します。 [オーディオ デバイス] で [テスト通話を行う] を選択します。※詳細はMicrosoft Teamsのページへ

■当日の参加手順について■

  1. 頁トップの「リソグラフィ専門委員会講演会241120URL.pdf」をクリックし、記載の接続URLにアクセスしてください。
  2. （アプリをインストールしない場合はWebブラウザが起動し、）Teams講演会の画面が開きます。
  3. カメラの使用許可を求められる場合があります。「ブロック」を選択して構いません。
  4. [名前を入力] を入力し、[参加] をクリックします。オンライン講演会開催中に表示される名前を入力可能な場合は、「会社名」「氏名」がわかるようにして、事務局の出欠確認にご協力ください。　例）SEAJ松尾
  5. Teams会議待合画面から主催者（事務局）にOKされると、Teams会議の画面が表示されます。共有画面が現れ、音楽が聴こえますので、音声調整にお役立てください。
    ★右下の人のマークをクリックすると会議の参加者が表示されます。★右下の吹き出しマーク（青枠）をクリックすると、チャット（インスタントメッセージ）の入力エリアが表示されます。

■その他Teams使用の際の注意事項■

  • 今後のセミナー運営の参考にする為、セミナーを録画させていただく場合がございます。予めご了承ください。※皆様は録音・録画をご遠慮下さい。
  • 講義中のご質問は「チャット」をご利用ください。
    【内容について】ご質問は各講演終了後に予定しております質疑応答の際に回答いたします。⇒・質問の仕方について
    【その他】ご質問は事務局よりチャットで返信いたします。
  • 質問の仕方について
  1. 講義中では「チャット」をご利用ください。各講演後の質疑応答の時に回答いたします。
  2. 講演終了後は「挙手」をご利用ください。「挙手」の上、司会者の指示に従いご発言下さい。※ご質問はできるだけ早い方から順に対応いたします。
    ※時間内に回答しきれなかった場合は、講演会終了後のアンケートにご記入下さい。

    その他ご不明な点、ご質問等ございましたら下記連絡先までお問合せください。
    担当：SEAJ事務局　松尾　03-3261-8262
  3. souchi.seigyo★seaj.or.jp 　
  4. ↑「★」記号を「@」半角記号に置き換えて下さい。
  • 11/20(水)当日12:00以降はメールでのご連絡をお願いいたします。
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