リソグラフィ専門委員会「SDRJアップデート」｜一般社団法人日本半導体製造装置協会

リソグラフィ専門委員会「SDRJアップデート」

★講演会終了後、アンケートへのご協力をよろしくお願いいたします。
https://forms.office.com/r/f6K0WYxmqd
リソグラフィ専門委員会_「SDRJアップデート」用 QR コード.png

★配布資料
石内先生：SEAJ講演会投影用資料_20240910リソ_ver1.pdf
林先生：SEAJ講演会投影用資料_20240910.pdf
ダウンロードしてご覧いただけます。
お申込みいただきました皆様に↑PDFの開封PWをお送りしました。9/9(月)～

★当日の接続URL
20240910_当日のURL_PW.pdf
お申込みいただきました皆様に↑PDFの開封PWをお送りしましました。9/5(木)～

対象

SEAJ会員企業と関係者

主旨

SDRJ委員会　委員長林喜宏氏と石内秀美氏を講師に迎え、今年7月に開催されたSDRJシンポジウムの内容について、デバイス動向とそれを実現させるリソグラフィック技術を中心に、解説していただく。

開催日程・場所

セミナーテーブル
お申し込み	開催日程	開催場所
参加申込	2024年 9月 10日(火)	Microsoft Teams

講師

応用物理学会システムデバイスロードマップ産学連携委員会（SDRJ）委員長　　慶応義塾大学　訪問教授林喜宏様（HAYASHI,Yoshihiro）

元先端ナノプロセス基盤開発センター代表取締役社長　石内秀美様（HIDEMI,Ishiuchi）

内容

Ⅰ．SDRJロードマップ活動について
　ー　ロジック半導体技術のパラダイムシフト　ー
SDRJのミッションは、国際議論を通じて、人間と機械の新しい共生社会を実現するための半導体デバイスとコンピュータアーキテクチャのイノベーションとその産業化ロードマップを考察することです。
特に、スマート社会インフラに対応したポストノイマン型コンピュータアーキテクチャやポストムーア型半導体デバイスの導入を想定し、情報処理コンピュータアーキテクチャ、半導体デバイス/プロセス技術、半導体材料・製造技術に関するロードマップの議論、また、IEEE International Roadmap for Devices and Systems(IRDS)に対応した国内ロードマップの議論を紹介します。

Ⅱ．IRDS章の内容を参照しながら、最近のリソグラフィー技術について15年後までの技術ロードマップについて概説します。
特にロジック集積回路で求められる微細パターンとその形成のためのリソグラフィー技術の選択、EUVリソグラフィーの高NA化とその課題、光源の短波長化、リソグラフィー技術とパターニング技術の関係について述べます。

タイムテーブル

テーブル2セル
スケジュール	講義名
14:30	接続開始
15:00	開催挨拶
15:05	ご講演Ⅰ. 林喜宏様
15:35	Ⅰ. 質疑応答
15:50	休憩
16:00	ご講演Ⅱ. 石内秀美様
16:30	Ⅱ. 質疑応答
16:45	閉会挨拶
16:50	接続終了

■お申し込み■

お申込み後、すぐに自動配信メールが返信されます。メールを確認できない場合は正しく受け付けられておりませんので、↓事務局担当までお問い合わせください。

■お問い合わせ■

担当：SEAJ事務局　後藤/松尾　
TEL：03-3261-8262　e-mail: souchi.seigyo★seaj.or.jp

↑上記の「★」記号を「@」半角記号に置き換えて下さい。

■当日の接続URLについて■

2，3日前頃、頁トップに「技術講演会240910URL.pdf」を掲載し、開封PWを、いただいたメールアドレスに配信します。接続URLをご確認いただけます。

■事前準備■　　

Teamsに接続する為に、以下について準備をお願いします。　
インターネットに接続できるPC
音声デバイス（マイク・スピーカー）

◇サポートされているブラウザ
Microsoft Edge　Chrome　他
Teams講演会で利用するPCの環境を事前にご確認の上、ご利用ください。

あらかじめアプリをインストールされますと、スムーズにゲストとして利用をすることができます。インストールをせずに、ブラウザでのご参加も可能です。

また、音声/カメラデバイスの設定をテストしていただくことをお勧めいたします。

◇テスト通話を行う
テスト呼び出しを行う場合は、設定 Teams の上部にあるプロファイル画像の横にある [ その他のオプションを表示する場合に選択しますなど] を選択し、[設定> デバイス] を選択します。 [オーディオデバイス] で [テスト通話を行う] を選択します。※詳細はMicrosoft Teamsのページへ

■当日の参加手順について■

頁トップの「技術講演会240910URL.pdf」をクリックし、記載の接続URLにアクセスしてください。
（アプリをインストールしない場合はWebブラウザが起動し、）Teams講演会の画面が開きます。
カメラの使用許可を求められる場合があります。「ブロック」を選択して構いません。
[名前を入力] を入力し、[参加] をクリックします。オンライン講演会開催中に表示される名前を入力可能な場合は、「会社名」「氏名」がわかるようにして、事務局の出欠確認にご協力ください。　例）SEAJ松尾
Teams会議待合画面から主催者（事務局）にOKされると、Teams会議の画面が表示されます。共有画面が現れ、音楽が聴こえますので、音声調整にお役立てください。
★右下の人のマークをクリックすると会議の参加者が表示されます。★右下の吹き出しマーク（青枠）をクリックすると、チャット（インスタントメッセージ）の入力エリアが表示されます。

■その他Teams使用の際の注意事項■

今後のセミナー運営の参考にする為、セミナーを録画させていただく場合がございます。予めご了承ください。※皆様は録音・録画をご遠慮下さい。
講義中のご質問は「チャット」をご利用ください。
【内容について】ご質問は各講演終了後に予定しております質疑応答の際に回答いたします。⇒・質問の仕方について
【その他】ご質問は事務局よりチャットで返信いたします。
質問の仕方について

講義中では「チャット」をご利用ください。各講演後の質疑応答の時に回答いたします。
講演終了後は「挙手」をご利用ください。「挙手」の上、司会者の指示に従いご発言下さい。※ご質問はできるだけ早い方から順に対応いたします。
※時間内に回答しきれなかった場合は、講演会終了後のアンケートにご記入下さい。

その他ご不明な点、ご質問等ございましたら下記連絡先までお問合せください。
担当：SEAJ事務局　後藤/松尾　03-3261-8262
souchi.seigyo★seaj.or.jp 　
↑「★」記号を「@」半角記号に置き換えて下さい。

9/10(火)当日12:00以降はメールでのご連絡をお願いいたします。

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