EUVリソグラフィ最新技術動向
配布資料20211124.pdf
↑ダウンロードしてご覧いただけます。
※メール配信中 2021/12/9～
★開封PW
★視聴後のアンケートご協力のお願い（所要時間約3分）
https://forms.office.com/r/R7B23yFGVE
当日の接続URL 技術講演会211124URL.pdf
※PW配信中 2021/11/23~
※事前の資料共有はございません。
対象
SEAJ会員企業と関係者
主旨
SEAJリソグラフィ専門委員会では、最新のリソ技術や、Logic、DRAM、SCM等のデバイス毎の技術、市場動向の講演会開催を通じて、最新情報を収集しています。この度 当委員会は日本シノプシス(合) 田岡 弘展 様 とHOYA㈱ 尾上 貴弘 様 をお招きしてご講演頂くこととし、会員企業の皆様とも共有することといたしました。ご関係者はもちろん、周りにご興味のある方がいらっしゃいましたら、ご案内いただけますと幸いです。皆様のご参加をお待ち申し上げます。
開催日程・場所
| お申し込み | 開催日程 | 開催場所 |
|---|---|---|
| 参加申込 | 2021年 11月 24日(水) | Microsoft Teams |
受講価格
会員無料
講師
Ⅰ. 日本シノプシス合同会社 田岡 弘展 様（Hironobu Taoka）
Ⅰ. シミュレーションによるパターンテクノロジ最適化
i線～EUVリソグラフィにおけるプロセス性能拡大
Ⅱ. HOYA株式会社 尾上 貴弘 様（ Takahiro Onoue）
Ⅱ. Development history of EUV blanks and latest trends
内容
Ⅰ. シミュレーションによるパターンテクノロジ最適化
i線～EUVリソグラフィにおけるプロセス性能拡大
高精度で予測性の高いリソグラフィシミュレーションは、半導体パターニング技術開発及び最適化に不可欠なツールとなっています。最先端ノードでは、特にEUVリソグラフィで、照明条件、マスク技術、レジストプロセス等の最適化において、開発効率化のために従来以上に必要とされています。また、ArF、KrFやi線装置の延命がコスト削減で重要な要素となっています。本発表ではTCADシミュレーションとの連携、DTCO(Design-Technology-Co-Optimization)を含む各種適用例をご紹介します。
Ⅱ. Development history of EUV blanks and latest trends
EUV 露光技術は長年にわたる開発期間を経て、複数のチップメーカーからこの方式を採用したチップの量産化報告がなされています。
我々は、2000年からEUVブランクスの研究開発を開始し、数多くの課題を解決することにより、この量産を支えるブランクスを市場に供することが出来ました。
本報告では、これまでの開発経緯にも触れながら最新の開発項目である位相シフト型吸収体開発事例について紹介します。
タイムテーブル
テーブル2セル
スケジュール
講義名
15:30
接続開始
16:00
開催挨拶
16:05
ご講演Ⅰ.
16:50
ご講演Ⅱ.
17:35
閉会挨拶・接続終了
| スケジュール | 講義名 |
|---|---|
| 15:30 | 接続開始 |
| 16:00 | 開催挨拶 |
| 16:05 | ご講演Ⅰ. |
| 16:50 | ご講演Ⅱ. |
| 17:35 | 閉会挨拶・接続終了 |
■定員■
100名
■お申し込み■
お申込み後、すぐに自動配信メールが返信されます。メールを確認できない場合は正しく受け付けておりませんので、↓事務局担当までお問い合わせください。
■お問い合わせ■
担当：SEAJ事務局 星野・後藤
TEL：03-3261-8262 e-mail: souchi.seigyo★seaj.or.jp
↑上記の「★」記号を「@」半角記号に置き換えて下さい。
■当日の接続URLについて■
2,3日前頃、頁トップに「技術講演会211124URL.pdf」を掲載し、開封PWを、いただいたメールアドレスに配信します。接続URLをご確認いただけます。
■事前準備■
Teamsに接続する為に、以下について準備をお願いします。
インターネットに接続できるPC
音声デバイス（マイク・スピーカー・ヘッドセット 等）
◇サポートされているブラウザ
Microsoft Edge Chrome 他
Teams講演会で利用するPCの環境を事前に確認の上、ご利用
あらかじめアプリをインストールしておくとスムーズにゲストとして利用をすることができますが、インストールせず、ブラウザでの参加も可能です。
また、音声/カメラデバイスの設定をテストしていただくことをお勧めします。
◇テスト通話を行う
テスト呼び出しを行う場合は、設定 Teams の上部にあるプロファイル画像の横にある [ 
など] を選択し、[設定> デバイス] を選択します。 [オーディオ デバイス] で [テスト通話を行う] を選択します。※詳細はMicrosoft Teamsのページへ
■当日の参加手順について■
- 頁トップの「技術講演会211019URL.pdf」をクリックし、記載の接続URLにアクセスしてください。
- （アプリをインストールしない場合はWebブラウザが起動し、）Teams講演会の画面が開きます。
- カメラの使用許可を求められる場合があります。「ブロック」を選択して構いません。
- [名前を入力] を入力し、[参加] をクリックします。オンライン講演会開催中に表示される名前を入力可能な場合は、「会社名」「氏名」がわかるようにして、事務局の出欠確認にご協力ください。 例）SEAJ後藤
- アクセスするとすぐにTeams会議の画面が表示されます。共有画面が現れ、音楽が聴こえますので、音声調整にお役立てください。
★右下の人のマークをクリックすると会議の参加者が表示されます。★右下の吹き出しマーク（青枠）をクリックすると、チャット（インスタントメッセージ）の入力エリアが表示されます。
■その他Teams使用の際の注意事項■
- 今後のセミナー運営の参考にする為、セミナーを録画させていただく場合がございます。予めご了承ください。※皆様は録音・録画をご遠慮下さい。
- 講義中のご質問は「チャット」をご利用ください。
【内容について】ご質問は各講演終了後に予定しております質疑応答の際に回答いたします。⇒・質問の仕方について 【その他】ご質問は事務局よりチャットで返信いたします。 - 質問の仕方について
- 講義中では「チャット」をご利用ください。各講演後の質疑応答の
時に回答いたします。 - 講演終了後は「挙手」をご利用ください。「挙手」の上、司会者の
指示に従いご発言下さい。※ご質問はできるだけ早い方から順に対応します。
※時間内に回答しきれなかった分は、講演会終了後のアンケートにご記入下さい。
その他ご不明な点、ご質問等ございましたら下記連絡先までお問合せください。
担当：SEAJ事務局 星野・後藤 03-3261-8262または050-5469-1822 souchi.seigyo★seaj.or.jp
↑「★」記号を「@」半角記号に置き換えて下さい。
- 10/24(水)当日11:00以降はメールでご連絡をいただきたくお願いいた
します。