半導体製造装置用語集(ウェーハプロセス : Wafer Process)一覧

半導体製造装置用語集

ウェーハプロセス (Wafer Process)

1. 洗浄・乾燥装置

2. 薄膜形成装置

3. エッチング装置・アッシング装置

4. イオン注入装置

5. CMP装置

6. Cuめっき装置

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