半導体製造装置用語集(リソグラフィ : Lithography)一覧

半導体製造装置用語集

リソグラフィ (Lithography)

1. リソグラフィ (Lithography)一般

2. 露光機 (Exposure tool)

3.光源 (Source)

4.フォトマスク (Photomask)

5.電子ビームマスク描画 (Electron-beam mask write)

6.マスク検査 (Mask inpsection)

7.レジストプロセス (Resist Process)

8.リソグラフィ評価指標

9.ナノインプリントリソグラフィー (NIL:Nanoimprint Lithigraphy)

10.その他

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