半導体製造装置用語集
Factory Integration
- AEC (Advanced Equipment Control)
- AGV (Automated Guided Vehicle)
- AMHS (Automated Material Handling Systems)
- APC (Advanced Process Control)
- ARHS (Automated Reticle Handling System)
- CIM (Computer Integrated Manufacturing)
- DDA (Diagnostic Data Acquisition)
- DEE (Detailed Equipment Event)
- Duplex System
- EDA (Equipment Data Acquitition)
- e-Diagnostics/リモート保守
- EEC (Equipment Engineering Capability)
- EEQA (Enhanced Equipment Quality Assurance)
- EEQM(Enhanced Equipment Quality Management)
- EES (Equipment Engineering System)
- EFEM (Equipment Front End Module)
- EPT (Equip Performance Tracking)
- FDC (Fault Detection&Classification)
- FOSB (Front Open Shipping BOX)
- FOUP (Front-Opening Unified Pod)
- GEM (Generic Equipment Model)
- HSMS (High Speed Messeage Services)
- IBSEM (IntraBay System Controller)
- I/F-A (Interfacr A)
- I/F-B (Interfacr B)
- I/F-C (Interfacr C)
- IIS
- IM (Integrated Metrology)
- ITRS (International Technology Roadmap for Semiconductor)
- Java
- Local Buffer Station
- MCS (Material Control System、Material Handling Control System)
- MES (Manufacturing Execution System)
- MTBF (Mean Time Between Failure)
- MTTR (Mean Time To Repair)
- NPW (Non Product Wafer)
- OEE (Overall Equipment Efficiency)
- OHS (Over Head Shuttle)：OHT (Overhead Hoist Transport)
- PGV (Person Guided Vehicle)
- PLC (Programmable Logic Controler)
- QTAT (Quick TAT)
- RaP (Recipe and Adjustable Parameters)
- Reticle SMIF Pod (RSP)
- RGV (Rail Guided Vehicle)
- RMS (Recipe Management System)
- RPT (Raw Process Time)
- RTD (Real Time Dispatcher)
- SCM (Supply Chain Management)
- SECS (SEMI Equipment Communications Standard)
- SPC (Statistical Process Control)
- StockerSEM (Stocker System Controller)
- TAT (Turn Around Time)
- TDI (Tool Data Integration)
- WIP (Work In Process)
- X-Factor
- XML (Extended Mark-Up Language)
- YMS (Yield Management System)
- ZFB
- AMHSインテグレータ（Automated Material Handling System Integrator）
- EESデータインターフェース
- FOUP IDタグ
- アクセスモード
- ウェーハID
- ウェーハリテーナ
- SEM（Specific Equipment Model）規格
- 可変パラメーター
- キャリアID
- キャリア/スロットマップ
- 工程間搬送
- 工程内搬送
- 工程能力指数（Cp/Cpk）
- コントロールジョブ
- コンベヤ
- ジョブショップ
- スタッカクレーン
- ストッカー
- スループット
- 装置エンジニアリング
- 双方向性ロードポート
- ダイナミックシミュレーション
- ダイナミックスケジューリング
- ダイレクト搬送
- タクトタイム
- ディスパッチャ
- データ・ウェアハウス
- 同時移載
- トップロボットフランジ
- バッチ
- 搬送機コントローラ
- 搬送スケジューリング
- ハンドオフ
- フローショップ
- プロセスジョブ
- 予防保全/PM
- Run-to-Run制御
- レシピ
- レティクル
- ロードポート