リソグラフィ専門委員会　お知らせ一覧

委員会活動報告

2023/9/1: 2022年度　活動成果報告会　発表資料は SEAJ Journal 182号（2023年9月）よりご覧いただけます。

2022/9/1: 2021年度　活動成果報告会　発表資料は SEAJ Journal 178号（2022年9月）よりご覧いただけます。

2021/9/1: 2020年度　活動成果報告会　発表資料は SEAJ Journal 174号（2021年9月）よりご覧いただけます。

2020/7/10: 2019年度　活動成果報告会　発表資料を掲載しました。

2019/4/23: 2018年度　活動成果報告会　発表資料を掲載しました。

2018/4/24: 2017年度　活動成果報告会　発表資料を掲載しました。

セミナー・講演会

2024/11/21: 「半導体製造の環境負荷評価ならびにグリーン化技術を目指して」11/20　★終了しました。多数のご参加ありがとうございました。

2024/9/11: 技術講演会「SDRJアップデート」9/10(火) 　★終了しました。多数のご参加ありがとうございました。

2024/8/16: 技術講演会「SDRJアップデート」9/10(火) お申込受付中

2024/1/31: 技術講演会「最先端マスク関連技術」2/14(水)お申し込み開始しました。

2023/11/22: 技術講演会「最先端EUVレジスト技術と材料技術」11/21(火)※終了しました。多数のお申し込みありがとうございました。参加者計143名〔対面21名（一般9名・委員10名・事務局 2名）＋WEB 122名〕

2023/1/5: 技術講演会「マスクレスリソグラフィとミニマルファブへの期待」※動画編集後ご参加の皆様に配信いたします。※1/31機材トラブルによりライブ配信の継続が困難と判断いたしました結果、セミナーを中断とさせていただきました。貴重なお時間を頂戴しているにも関わらず、大変ご迷惑をおかけしましたこと、深くお詫び申し上げます。

2022/6/24: 技術講演会「電子線リソグラフィ用帯電防止材料の開発と実用化」6/24(金)※終了しました。多数のお申込ありがとうございました。

2022/4/19: 技術部会「位相シフトマスクの発明と光学結像理論の吟味」終了いたしました。多数のお申込ありがとうございました。

2021/11/11: 「EUVリソグラフィの最新技術動向」11/24 終了しました。多数のご参加ありがとうございました。アンケートにご協力ください。

2021/9/28: 「インテリジェント制御による半導体製造装置のイノベーション」終了しました。多数のご参加ありがとうございました。

2021/8/25: SEAJ技術講演会「SDRJアップデート」終了しました。多数のご参加ありがとうございました。

2021/3/8: 技術講演会Ⅰ. DUV光マスクレス露光機の開発 /Ⅱ. EUVリソグラフィー用新規主鎖切断型レジスト

2019/12/27: 技術講演会　「IRDSロードマップによる半導体微細デバイス技術と EUVリソグラフィー」（※終了しました。）

2019/5/17: 技術講演会　「ディープラーニングの半導体装置技術への応用～リソグラフィプロセスへの展開事例～」　（※終了しました。）

2019/2/26: 技術講演会「ナノインプリントリソグラフィー技術動向」のお申込み受付を開始しました。

2019/2/7: 技術講演会　「DSA技術動向」のお申込み受付を開始しました。

2018/2/6: 技術講演会「EUVLレジストプロセスの最新動向」「マルチパターニングによる微細化とパターン解像忠実度について」のお申込みを受付中です。（※終了しました。）

その他

その他のお知らせはありません。