リソグラフィ専門委員会

2023/9/1

2022年度　活動成果報告会　発表資料は SEAJ Journal 182号（2023年9月）よりご覧いただけます。

2022/9/1

2021年度　活動成果報告会　発表資料は SEAJ Journal 178号（2022年9月）よりご覧いただけます。

2021/9/1

2020年度　活動成果報告会　発表資料は SEAJ Journal 174号（2021年9月）よりご覧いただけます。

2020/7/10

2019年度　活動成果報告会　発表資料を掲載しました。

2019/4/23

2018年度　活動成果報告会　発表資料を掲載しました。

2024/11/21

「半導体製造の環境負荷評価ならびにグリーン化技術を目指して」11/20　★終了しました。多数のご参加ありがとうございました。

2024/9/11

技術講演会「SDRJアップデート」9/10(火) 　★終了しました。多数のご参加ありがとうございました。

2024/8/16

技術講演会「SDRJアップデート」9/10(火) お申込受付中

2024/1/31

技術講演会「最先端マスク関連技術」2/14(水)お申し込み開始しました。

2023/11/22

技術講演会「最先端EUVレジスト技術と材料技術」11/21(火)※終了しました。多数のお申し込みありがとうございました。参加者計143名〔対面21名（一般9名・委員10名・事務局 2名）＋WEB 122名〕

その他のお知らせはありません。