技術部会

リソグラフィ専門委員会

先端技術動向を左右するリソグラフィ技術が、Logic、DRAM、SCM等のデバイスへ展開される情報をまとめ、今後の量産市場を展望しています。

ウェーハプロセス専門委員会

委員会参加各社が保有する要素技術を深堀し、全製造工程を含めた技術要求の深耕により得た技術動向を開発ロードマップに反映しています。

検査専門委員会

車載デバイスのテスト技術のようなスマート社会実現に必要なニーズに触れながら、半導体産業に向けられた要請や課題を研究しています。

装置制御技術専門委員会

半導体製造装置の稼働率や電力効率に繋がる各種制御を発展させ、工場全体の運営に寄与することを研究しています。