部会・活動紹介

環境部会

◆環境問題に関する取組み◆
一般的環境問題に関る調査活動や、半導体及びFPD製造装置等に係る有害化学禁止物質情報及び国内外法令調査を行い情報提供しています。
Fab全体のエネルギー負荷低減に役立つ情報を集め、情報の提供及び省エネ対策を促進しています。

技術部会

スマート社会実現に必要とされる半導体、FPD製造の最新技術動向を調査しています。ウェーハプロセス、リソグラフィ、装置制御および、検査装置に関連する4つの委員会で構成されています。先端技術分野の情報を議論することで、健全な装置産業へ向かう道を展望しています。

安全・サポート部会

業界の「事故0」を目指した活動を行っています。

その他委員会・プロジェクト

部会に属さない、直轄の半導体/FPD調査統計専門委員会、広報専門委員会、貿易専門委員会、及び多岐に渡るプロジェクト活動を行っています。