技術講演会「プラズマレスドライエッチングについて」
*定員となりましたので、お申し込みを終了とさせていただきました。
ご参加をご希望される場合はお電話にてお問い合わせ下さい。
対象
SEAJ正会員・賛助会員の皆様
主旨
ウェーハプロセス専門委員会第2回定例会議では、持続可能なハーフトンマスクエッチング用ガスの紹介を受け、新たなマーケットを創出することを目的として、名古屋大学 客員教授 林 敏雄様をお招きし、温対法で規制されて行くドライエッチング用ガスについて、エッチング分野で将来持続可能なプロセスガス事例に関するご講演をいただくことといたしました。
ご関係者はもちろん、周りにご興味のある方がいらっしゃいましたら、 ご案内いただけますと幸いです。皆様のご参加をお待ち申し上げます。
開催日程・場所
| お申し込み | 開催日程 | 開催場所 |
|---|---|---|
| 参加申込 | 2018年 7月 27日(金) | 東京：SEAJ会議室 |
受講価格
無料 *講師を囲む情報交換会(懇親会)を含みます。
講師
名古屋大学 客員教授 林 俊雄 様
IMBT 磯 博幸 様
内容
温対法で規制されて行くドライエッチング用ガスについて、エッチング分野で将来持続可能なプロセスガス事例に関するご講演いただきます。
・Chemical Dry Etchingの歴史
・現在でも使われているCDE技術
・プラズマレスドライエッチング技術とエッチング機構
タイムテーブル
テーブル2セル
スケジュール
講義名
15：30-16：00
Ⅰ背景説明
「マスク用ドライエッチングでの4ガス代替プロセス」
IMBT 磯 博幸 様
16：00-17：00
Ⅱご講演
「プラズマレスドライエッチングについて」
名古屋大学 林 俊雄 様
17：00-18：00
講師を囲む情報交換会（懇親会）
会場にお飲み物等をご用意いたします。
| スケジュール | 講義名 |
|---|---|
| 15：30-16：00 | Ⅰ背景説明
「マスク用ドライエッチングでの4ガス代替プロセス」
IMBT 磯 博幸 様 |
| 16：00-17：00 | Ⅱご講演
「プラズマレスドライエッチングについて」
名古屋大学 林 俊雄 様 |
| 17：00-18：00 | 講師を囲む情報交換会（懇親会） 会場にお飲み物等をご用意いたします。 |
定員
40名 ★ 7/23（月）までにお申し込み下さい。( 以降はお電話で↓↓）
担当
SEAJ事務局 星野・後藤 info@seaj.or.jp 03-3261-8262