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半導体製造装置分類表
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半導体製造装置分類表 2012年1月31日作成

大分類 小分類・細分類 装置・機器例
A 半導体設計用装置 パターン入力装置,プロッタ,エンジニアリングワークステーション,論理シミュレータ,回路シミュレータ,各種計測用機器,ロジックアナライザ
B マスク・レチクル製造用装置
*マスク・レチクル製造用に限る。
1 フォトリソ工程装置 電子ビーム描画装置,レーザ描画装置,パタンジェネレータ,コンタクトプリンタ,フォトリピータ,塗布装置,レジスト剥離装置現像・ベーキング・ディスカム装置
2 薄膜形成・エッチング・洗浄乾燥装置 真空蒸着装置,スパッタリング装置,CVD装置,洗浄装置,エッチング装置,乾燥装置,スクラブ洗浄装置
3 検査評価装置・その他製造装置 欠陥検査装置,欠陥修正装置,マスク異物検査装置,外観検査装置
C ウェーハ製造用装置
*複数の装置を1つの装置 にまとめた自動機の場合は、主となる装置の分類項目に入れる。
1 単結晶製造装置 単結晶引き上げ装置
2 ウェーハ加工装置 切断装置,ラッピング装置,ポリッシング装置,研削装置,ウェーハマーキング装置
3 検査評価装置・その他製造装置 ライフタイム測定器,結晶欠陥測定装置,加工検査装置,各種計測用装置
D ウェーハプロセス用 処理装置 1 露光・描画装置 コンタクトプロキシミティ露光装置,投影露光装置(等倍、縮小),電子ビーム露光装置
2 レジスト処理装置 塗布装置,現像装置,レジスト剥離装置,アッシング装置,ベーキング装置,レジスト安定化装置,ウェーハ周辺露光装置
3 エッチング装置 ドライエッチング装置
4 洗浄・乾燥装置 ウェットエッチング装置,乾式洗浄装置,湿式洗浄装置,スクラブ洗浄装置,乾燥装置,高圧噴射洗浄装置
5 熱処理装置 酸化装置,拡散装置,アニール装置
6 イオン注入装置 大電流イオン注入装置,中電流イオン注入装置,高エネルギーイオン注入装置,ドーピング装置
7 薄膜形成装置
7-1. CVD装置 常圧CVD装置,SACVD,減圧CVD装置,プラズマCVD装置,メタルCVD装置,ALD装置
7-2. スパッタリング装置 スパッタリング装置
7-3. その他薄膜形成装置 真空蒸着装置,シリコンエピタキシャル成長装置,化合物半導体エピタキシャル装置(MOCVD装置、MBE装置),めっき装置
8 検査評価装置 外観検査装置,異物検査装置,ダストカウンタ,測長SEM,膜厚計,反射率測定機,オージェ電子分光装置,赤外分光光度計,シート抵抗測定器,ライフタイム測定機,その他各種計測・分析用装置
9 CMP装置 CMP装置,CMP用洗浄装置
10 その他処理装置 ウェーハマーキング装置,マーク読み取り装置,裏面研削盤,バンプめっき装置,バックグラインダ用テープ貼付機,バックグラインダ、バックグラインダ用テープ剥離機
E 組立用装置 1 ダイシング装置 スクライビング装置,ダイシング装置,ウェーハマウンティング装置
2 ボンディング装置 ダイボンディング装置,ハイブリッドボンディング装置,ワイヤボンディング装置,インナリードボンディング装置,アウタリードボンディング装置,フリップチップボンディング装置
3 パッケージング装置 モールド装置,バリ取り装置,封止用加熱炉,半田処理装置,半田ボールマウンティング装置 ,リード加工機,マーキング装置
4 検査評価装置・その他組立装置 外観検査装置,密封度試験装置,ボンドプルテスタ,X線検査装置,リード外観検査装置,各種計測用機器
F 検査用装置
*複合するテスタの場合は、主となるテスタの項目に入れる。
1 テスティング装置
1-1. SOC&Logicテスティング装置 ロジックテストシステム,ASICベリフィケーション装置
(1-3. リニアテスティング装置)(旧) リニアテストシステム,ミックスドシグナルテストシステム,アナログテストシステム
(1-4. その他テスティング装置)(旧) トランジスタテストシステム,LEDテストシステム,イメージセンサテストシステム,電子ビームテスティング装置,レーザビームテスティング装置,個別半導体テストシステム,ACパラメトリックテストシステム
1-2. メモリテスティング装置 メモリテストシステム
2 プロービング装置 プローバ
3 ハンドラ ハンドラ
4 エージング装置 エージング装置,バーンイン装置,IC挿入装置,IC抜取装置
5 その他検査装置 冷熱試験装置,温・湿試験装置,衝撃試験装置,プレッシャクッカ装置,リーク検査装置,レーザプロセッシングシステム,振動試験装置,各種寿命試験装置,波形分析機,各種計測用機器
G 半導体製造装置用関連装置 1 各種搬送装置 工程内ウェーハ搬送装置,工程間ウェーハ搬送装置, ストッカー
2 純水・薬液装置 純水製造装置,限外ろ過装置,逆浸透装置,滅菌装置,薬品供給装置,スラリー供給装置,薬品純化装置,廃液処理装置
3 各種ガス装置 ガス発生装置,ガス純化装置,ガス混合装置,ガス検知装置,排ガス処理装置
4 クリーンルーム装置 クリーンベンチ,クリーントンネル,サーマルチャンバ,環境試験室,エアシャワー,パスボックス
5 その他製造関連装置 各種制御装置,各種集中監視装置,各種治具洗浄・乾燥装置,流量制御用機器,各種テーピング装置,各種包装装置,液体用・各種ガス用計測用機器および各種分析用機器
注)太陽電池装置装置は上記分類に含まれておりません。



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