役員 （2023年5月25日 第12回定時社員総会付）
| 会長 | 河合 利樹 | 東京エレクトロン株式会社 | 代表取締役社長 兼 CEO |
|---|---|---|---|
| 副会長 | 牛田 一雄 | 株式会社ニコン | 取締役 取締役会議長 |
| 副会長 | 吉田 芳明 | 株式会社アドバンテスト | 代表取締役 兼 執行役員社長 Group CEO |
| 副会長 | 後藤 正人 | 株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ | 代表取締役 社長執行役員 |
| 専務理事 | 渡部 潔 * | 一般社団法人 日本半導体製造装置協会 | |
| 常任理事 | 戸川 哲二 | 株式会社荏原製作所 | 執行役 精密・電子カンパニープレジデント |
| 常任理事 | 武石 洋明 | キヤノン株式会社 | 専務執行役員 |
| 常任理事 | 重﨑 隆 | 株式会社シバソク | 代表取締役会長＆CEO |
| 常任理事 | 小室 修 | 株式会社日立ハイテク | 常務執行役員 |
| 理事 | 清水 康男 | 株式会社アルバック | 執行役員 FPD事業部長 |
| 理事 | 安部 建吉 | ウシオ電機株式会社 | 執行役員 事業統括本部Industrial Process事業部長 |
| 理事 | 金井 史幸 | 株式会社KOKUSAI ELECTRIC | 代表取締役 社長執行役員 |
| 理事 | 渡邊 明 | 株式会社島津製作所 | 取締役 専務執行役員 |
| 理事 | 田島 寛敏 | ヤマハロボティクスホールディングス株式会社 | 株式会社新川 取締役 |
| 理事 | 田澤 豊彦 | 日本電子株式会社 | 取締役兼専務執行役員 |
| 理事 | 長谷川 正義 | 株式会社日本マイクロニクス | 代表取締役社長 |
| 理事 | 田中 久士 | 株式会社フジキン | 代表取締役社長 |
| 理事 | 堀場 厚 | 株式会社堀場製作所 | 代表取締役会長 兼 グループCEO |
| 理事 | 岡林 理 | レーザーテック株式会社 | 代表取締役社長執行役員 |
| 監事 | 木村 龍一 | 株式会社東京精密 | 代表取締役社長COO |
| 監事 | 高松 潤 | 株式会社ニューフレアテクノロジー | 代表取締役社長 |
| 監事 | 菅原 和信 | 菅原和信公認会計士事務所 | 公認会計士 |
【 2023年5月25日現在 】
- * 専務理事は常勤。その他の役員は非常勤です
- 役職は2023年5月25日 SEAJ役員就任時のものです