一般社団法人 日本半導体製造装置協会

装置制御技術専門委員会

委員推薦のお願い

SEAJ装置制御専門委員会委員推薦のお願い

　SEAJ技術部会のもとで活動してきました「装置制御技術専門委員会」は本年3月で2年間の活動を終了いたしました。活動成果として、「装置制御の中長期的な進化の方向性」を提言としました。この成果をベースとして、新しい活動のため再度組織化を行いたいと思います。
　今後この技術分野の重要性はますます高まると認識しており、委員の改選期を迎えるにあたり、これまでご参加いただいた企業をはじめ、これまで参加いただけなかった関連の製造装置メーカ、搬送装置メーカ、コンポーネントメーカの方々に加わって頂いて活動を充実させて行きたいと考えております。
　つきましては、貴社のご専門の方にご参加をお願い致したくご依頼申し上げる次第です。
　なお、委員登録は継続委員の方も必要となります。ご承知おきください。登録は委員届のご提出をお願い申し上げます。

SEAJ技術部会長　　田中　潔

装置制御技術専門委員会とは

①活動内容
②5つのKey theme設定
③Flow Chart
④活動実績
⑤委員会参加企業

活動成果報告ダイジェスト版

活動背景

これまで半導体生産にIT技術を活用するEES（Equipment Engineering System）などを含むe-manufacturingが定着してきた。これがさらに高度化するための装置側の活動として、装置単体の安定稼動や稼働率向上、電力管理に繋がる各種制御を発展させ、工場全体の運営に寄与することを求められている

活動目的

半導体製造装置へのIT技術活用動向を中心とした装置制御技術に関する海外の動向も注視したTrend収集、検討と発信を行う。 また、Userや関連業界との交流、各種技術講演会の実施など、様々な活動を通して、今後の方向性を調査・提言する。

活動内容
  1. 装置Data利用の現状と今後のNeeds調査
    AIによる故障予知や装置品質/性能維持などに関する技術調査
  2. IoT技術活用による高度な制御技術に関する調査
    通信やSensing、仮想計測（VM：Virtual Metrology）など　数年後を見据えた技術調査
  3. 本業界へFeedback可能な技術の調査
    様々なConsortium、他業界等の装置制御関連の情報収集活動
委員募集にあたって

当専門委員会では、活動テーマに関連する装置制御やこれに関わるソフトウェア、コンポーネントの高度化に関心がある方を広く募集しております。

委員任期

2019/7〜2021/3　会議開催は1回/月程度

推薦方法

↓装置制御専門委員届に参加者、ご承認者氏名（例：窓口様、上長様）等必要事項をご記入いただき、押印の上、配信メールに返信いただくか、件名を「SEAJ装置制御技術専門委員届」として　info@seaj.or.jp 宛にお送りください。

第1回装置制御専門委員会

2019年7月25日（木）

提出期限

2019年7月24日（水）

提出先

SEAJ 技術部 　後藤 宛　FAX：03-3261-8263 E-mail: info@seaj.or.jp

活動内容に関する問い合わせ先

SEAJ　技術部　星野・後藤　　
TEL：03-3261-8262　 FAX：03-3261-8263

装置制御専門委員会　委員届

WORDデータ

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