省エネルギー事例一覧
製造装置編（装置工程別一覧）

省エネルギー事例一覧　製造装置編（装置工程別一覧）
事例詳細 分類 設備名 題目（省エネ事例名） 削減効果
設備工程 エネルギー 省エネ法等 電力 ガス 排気 液体 接地面積 その他
05-AE01 組立工程 製造装置への供給エネルギー（電力、ガス、水、他） 気・動力・熱変換合理化 研削装置 ＢＧ（研削）排水回収 210,000 kWh/年 節水
70ｋ㎥/年
05-AE02 ウエハ処理工程 製造装置への供給エネルギー（電力、ガス、水、他） その他 ウェット装置 ウェットシステム直接外気導入 100,000 kWh/年 1,400kl/年
05-AE03 ウエハ処理工程 製造装置への供給エネルギー（電力、ガス、水、他） 気・動力・熱変換合理化 現像装置 TMAH排水回収設備 39,000 kWh/年 節水
13,000㎥
05-AE04 ウエハ処理工程 製造装置への供給エネルギー（電力、ガス、水、他） 加熱・冷却・電熱合理化 プラズマ剥離 ドライポンプN２使用量適正化 N2 80％
05-AE05 ウエハ処理工程 製造装置への供給エネルギー（電力、ガス、水、他） 気・動力・熱変換合理化 酸化膜CMP パッドのN2パージ圧力変更 N2 50％
05-AE06 ウエハ処理工程 製造装置への供給エネルギー（電力、ガス、水、他） 気・動力・熱変換合理化 イオン注入装置 ガスボンベ使用圧力変更 BF3、PH3、ASH3 40％
05-AE07 検査工程 製品当たりの消費エネルギー削減 生産合工程合理化 ハンドラー ファイナルテスト（FT)同測率向上 0.2％
74,300 kWh/年
05-AE08 ウエハ処理工程 製品当たりの消費エネルギー削減 生産合工程合理化 レジストコーター
レジスト剥離		 エッチング工程合理化での電力削減 100％
51,662 kWh/年
05-AE09 ウエハ処理工程 製品当たりの消費エネルギー削減 生産合工程合理化 エピタキシャル成長装置 サイクルタイム短縮による消費電力の削減 79.6％
12,464 kWh/年
05-AE10 ウエハ処理工程 製造装置への供給エネルギー（電力、ガス、水、他） 抵抗等による電気の損失防止 スパッタ装置 ドライポンプへの省電力アタッチメント(ECO-SHOCK)取付 46.9％
14,860 kWh/年		 N2 100％
05-AE11 組立工程 製品当たりの消費エネルギー削減 生産合工程合理化 ワイヤボンダ ワイヤボンダ稼働ロス低減による生産性向上 15％
14,860 kWh/年
05-AE12 ウエハ処理工程 製造装置への供給エネルギー（電力、ガス、水、他） 気・動力・熱変換合理化 注入機、成膜装置 クライオポンプコンプレッサーの低消費電力型への交換 8.3％
43,200 kWh/年
05-AE13 ウエハ処理工程 製造装置への供給エネルギー（電力、ガス、水、他） 生産合工程合理化 製造装置真空ポンプ 真空ポンプ間欠運転 18,000 kWh/年
05-AE14 ウエハ処理工程 製造装置への供給エネルギー（電力、ガス、水、他） 生産合工程合理化 装置真空ポンプ 真空ポンプ間欠運転 N2 25％
05-AE15 ウエハ処理工程 製造装置への供給エネルギー（電力、ガス、水、他） 生産合工程合理化 低圧CVD・拡散装置
（FURNACE))		 待機時の炉温低減 3.0％
2,600 kWh/年
05-AE16 ウエハ処理工程 空調負荷エネルギー（排気、放熱など） その他 枚葉式CVD装置 装置筐体（熱系）排気停止による省エネ 7,534 kWh/年 100%
05-AE17 ウエハ処理工程 調負荷エネルギー（排気、放熱など） 放射・伝導等による熱損失防止 エッチング装置 チラーチューブの断熱による省エネ 10％
613kWh/年
05-AE18 ウエハ処理工程 空調負荷エネルギー（排気、放熱など） 放射・伝導等による熱損失防止 燃焼式除害装置 燃焼除外装置 ヒーター部断熱による省エネ 9.2％
3,600 kWh/年
05-AE19 ウエハ処理工程 製造装置への供給エネルギー（電力、ガス、水、他） 気・動力・熱変換合理化 真空ポンプ 真空ポンプインバーター制御 50％
1,912 kWh/年
05-AE20 ウエハ処理工程 製造装置への供給エネルギー（電力、ガス、水、他） 生産合工程合理化 治具乾燥機 治具乾燥機へのタイマー設置による節電 15％
12,000 kWh/年
05-AE21 ウエハ処理工程 製造装置への供給エネルギー（電力、ガス、水、他） 放射・伝導等による熱損失防止 ドライエッチング装置 ベルジャーカバーの設置による節電 50％
19,000 kWh/年
05-AE22 ウエハ処理工程 製造装置への供給エネルギー（電力、ガス、水、他） 熱・動力変換の合理化 スパッター装置 クライオコンプレッサーの効率化 39％
322,000 kWh/年
05-AE23 検査工程 製品当たりの消費エネルギー削減 生産合工程合理化 試験装置 ＰＣテスタ導入と複数個同時測定 90％
258,100 kWh/年		 40％
(PCテスタのみ)
05-AE24 ウエハ処理工程 製造装置への供給エネルギー（電力、ガス、水、他） その他 UVキュアー 冷却水のリターン化による純水補給停止 純水
100％
05-AE25 ウエハ処理工程 製造装置への供給エネルギー（電力、ガス、水、他） その他 純水供給 ６インチウェハ処理工程純水使用量削減 純水
21％
05-AE26 組立工程 製造装置への供給エネルギー（電力、ガス、水、他） その他 半導体封止装置 圧縮成形によりトランスファ成形装置削除 10％
300kWh/年
05-AE27 組立工程 材料廃棄エネルギー その他 半導体封止装置 圧縮成形により廃棄原材料削減 廃棄原材料削減
05-AE28 組立工程 製造装置への供給エネルギー（電力、ガス、水、他） その他 半導体封止装置 圧縮成形により不要部材除去エネルギー
05-AE29 組立工程 製造装置への供給エネルギー（電力、ガス、水、他） その他 半導体封止装置 圧縮成形によりゴミ処理エネルギー削減 5％
150kWh/年
05-AE30 ウエハ処理工程 製造装置への供給エネルギー（電力、ガス、水、他） 熱・動力変換の合理化 真空ポンプ ドライポンプ 53％
15,768 kWh/年		 水 50% 40%
05-AE31 ウエハ処理工程 製造装置への供給エネルギー（電力、ガス、水、他） その他 AL ETCH装置 ドライポンプの省エネルギー施策 56％
15,768 kWh/年		 冷却水 34％ 50％
既存の1/2
05-AE32 検査工程 製造装置への供給エネルギー（電力、ガス、水、他） 電気・光変換合理化 ＬＳＩ用テスタ－ システムＬＳＩ用テスタ－の省エネ化 22％
0.6KW/台		 30％
05-AE33 検査工程 製造装置への供給エネルギー（電力、ガス、水、他） 電気・光変換合理化 ＬＳＩ用テスタ－ メモリテスターの省エネ化 4％
3.7KW/台
05-AE34 ウエハ処理工程 製造装置への供給エネルギー（電力、ガス、水、他） 放射・伝導等による熱損失防止 縦型CVD装置 ヒータの省エネ化 30％
20,000 kWh/年
05-AE35 ウエハ処理工程 製造装置への供給エネルギー（電力、ガス、水、他） その他 縦型CVD装置 ポンプの回転数制御 8.5％
560kWh/年
05-AE36 ウエハ処理工程 製造装置への供給エネルギー（電力、ガス、水、他） 生産合工程合理化 縦型CVD装置 N2消費量削減 Ｎ2 3.4％
05-AE37 ウエハ処理工程 製品当たりの消費エネルギー削減 生産合工程合理化 枚葉洗浄装置 スループット向上による消費電力削減 25％
84,000 kWh/年		 25%
05-AE38 ウエハ処理工程 空調負荷エネルギー（排気、放熱など） 気・動力・熱変換合理化 バッチ式洗浄装置 密閉型チャンバーによる排気量削減 90％
05-AE39 ウエハ処理工程 製品当たりの消費エネルギー削減 加熱・冷却・電熱合理化 ランプアニール 加熱方式変更による消費電力削減 75％
657,000 kWh/年
05-AE40 ウエハ処理工程 製品当たりの消費エネルギー削減 生産合工程合理化 CD-SEM CD-SEMの省エネルギー化 ウエハ1枚当り消費電力量36％減
05-AE41 ウエハ処理工程 製品当たりの消費エネルギー削減 生産合工程合理化 検査SEM 検査SEMの省エネルギー化 ウエハ1枚当り消費電力量70％減
05-AE42 ウエハ処理工程 製品当たりの消費エネルギー削減 生産合工程合理化 枚様式PECVD装置 PECVD　TEOS　FSG　の電力削減 15%
05-AE43 ウエハ処理工程 製品当たりの消費エネルギー削減 生産合工程合理化 枚葉式CVD 装置 HDP-CVD　300mm装置　の電力削減 6%
05-AE44 EMS体制の整備
05-AE45 共通プラットホームの推進
05-AE46-1 ウエハ処理工程 その他 その他 塗布現像装置 省エネ関連発表資料
05-AE46-2 ウエハ処理工程 その他 その他 塗布現像装置 省エネ関連発表資料
05-AE46-3 ウエハ処理工程 製造装置への供給エネルギー（電力、ガス、水、他） その他 ドライエッチング装置と洗浄装置 省エネ関連発表資料
05-AE46-4 ウエハ処理工程 空調負荷エネルギー（排気、放熱など） 放射・伝導等による熱損失防止 拡散炉 省エネ関連発表資料
05-AE47-1 ウエハ処理工程 空調負荷エネルギー（排気、放熱など） 放射・伝導等による熱損失防止 拡散炉 省エネ関連発表資料
05-AE47-2 ウエハ処理工程 製造装置への供給エネルギー（電力、ガス、水、他） その他 全般・塗布現像装置・洗浄装置・拡散炉・ドライエッチング装置 省エネ関連発表資料
05-AE48-1 ウエハ処理工程 空調負荷エネルギー（排気、放熱など） 放射・伝導等による熱損失防止 拡散炉 省エネ関連発表資料
05-AE48-2 ウエハ処理工程 製造装置への供給エネルギー（電力、ガス、水、他） 放射・伝導等による熱損失防止 全般 省エネ関連発表資料
05-AE49 その他 製造装置への供給エネルギー（電力、ガス、水、他） 熱・動力変換の合理化 真空ポンプ メカニカルブースターポンプのDCモータ採用 50％
3,504 kWh/年