| 装置・設備カテゴリー | 部位 | 消費電力 | 部分停止可能か | 部分停止不可の場合の理由 | 部分停止に際しての注意事項： |
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| ドライエッチャー モジュール/コンポーネント |
チラー | 9.7kWh | △ | Particleの影響が無い装置であれば | |
| ヒーター | 2kWh | △ | Particleの影響が無い装置であれば | ||
| PM Dry-Pump | 1.4kWh | × | 真空度維持 | ||
| TMP | 1kWh | × | 真空度維持 | ||
| System Dry-Pump | 0.8kWh | ○ | |||
| RF Gen. | 0.55kWh | ○ | |||
| 除害装置 | 2kWh | △ | ヒーター温度待ち可能なら | ||
| 縦型拡散・CVD装置 | ヒータ | 12kW（800℃） | △（スタンバイ温度下げる） | （レシピ時間増加） | |
| ポンプ | 5kW | △（スタンバイ時回転数低減） | （回転数切替機能付きポンプであること） | ||
| コントローラ系 | 4kW | × | 装置完全停止時のみ停止可能 | ||
| Laser Power Supply | LaserOFF状態 | 5kVA | 可能※1 | ※1：再起動時に30分必要 | |
| 電源OFF状態（メインブレーカ遮断） | 0kVA | 可能※2 | ※2：3日以上OFFの場合、GPIによる密閉作業が必要 | ||
| ステッパ | ステッパ用温調チャンバー | 数kWh削減 | 可能 | チャンバーそのものを停止するのではなく、 デバイスメーカから供給される水の温度を下げていただく事により、 チャンバーを運転する際の電力が恒常的に削減できる。 |
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| テスタ | 開発用小型テスタ | おおよそ 1kVA以下 | × | テストプロセッサ(TP)を残し,本体の電源を切断出来ますが、 TPのみで実行可能な事が無い事と、TPは数分で起動可能なため装置全体の電源を切る事を推奨いたします。 |
半導体テストシステムは、使用しない場合に電源を切断することに問題はありません。
しかし、電源投入後機種によって使用可能となるまでに準備時間が掛かります。 電源投入後、暖機運転、イニシャライズ、後に使用可能となりますが、自己診断プログラムによる正常動作確認を行った後に使用開始する事を推奨致します。 暖機運転は全ての機種で30分以上行ってください。 また、機種、構成によって、消費電力は0.5kVAから50kVA程度、イニシャライズ時間は10分から180分程度、自己診断時間は30分から210分程度と大きく変わる事がありますので、詳細はお問い合わせください。 イニシャライズ時間、自己診断時間はシステムの規模にもよりますが、新しい機種の方が短時間で完了する傾向があります。 |
| 量産用小型テスタ | おおよそ 1～20kVA | ||||
| 量産用中型テスタ | おおよそ20～40kVA | ||||
| 量産用大型テスタ | おおよそ40kVA以上 | ||||
| ウェーハグラインディング装置 | ウェーハ供給/収納部 | 装置一体の為、測定不可 | 不可 | Particleの影響が無い装置であれば | |
| 測定搬送/測定部 | |||||
| ウェーハ搬送 | |||||
| 加工部(L) | 可能 | 部分停止すると、時間単位のウェーハ処理枚数が半減します。 部分停止前後でのウェーハ1枚処理に費やす電力を比較すると、 節電効果は期待できずに逆に電力消費量は増えると思われる。 |
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| 加工部(R) | |||||
| ウェーハ洗浄部 | ウェーハに加工屑が残留する為、後工程にて別途洗浄処理が必要と思われる。 又、洗浄工程後の吸着ラインの汚れにより、フィルタ等の目詰まりに注意が必要となる。 |
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| ウエハー・プローバ | チラー | 3.0kWh～5.5KWh | ○ | 高温時に冷凍機停止：0.8kWh～5.25kWhの効果 機種によっては、対応不可 |
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| プローバ | 3.0kWh～5.5KWh | × | 但し、モニタの輝度を下げることにより節電効果有。？～？W 機種にによっては対応不可。 |