ブックタイトルセミコンジャパン2018出展特集

概要

セミコンジャパン2018出展特集

セミコン・ジャパン2018SEAJ Journal 2018. 11 No. 163 11東横化学株式会社（4319）■ 機器・装置事業部■ 〒211-8502　神奈川県川崎市中原区市ノ坪370TEL 044-435-5860　FAX 044-434-9091　http://www.toyokokagaku.co.jp/■ 出展製品・SiC パワーデバイス熱処理装置・漏液センサ・液種判別センサ・He/Ar 回収装置　・液体材料供給装置■ 出展の見どころ弊社はトータルガスマネジメントのコンセプトに基づき、ガスの入り口から出口までお客様のニーズに合わせた製品とシステムを国内外に提供しております。装置関連ではSiC パワーデバイス熱処理装置のパネル展示、機器関連では液種判別・漏液センサの実機展示もございます。是非お立ち寄りください。SiCパワーデバイス熱処理装置株式会社荏原製作所／株式会社荏原フィールドテック（4344）■ 精密・電子事業カンパニー　営業統括部■ 〒251-8502　神奈川県藤沢市本藤沢４- ２- １TEL 0466-83-9000　FAX 0466-83-8883　https://www.ebara.co.jp/■ 出展製品ドライ真空ポンプ（EV-A10型、EV-M 型、EV-S 型、ESA 型、EV-PA 型(NEW)、EV-SA型、EV-L 型）、排ガス処理装置（G5型、G6型、ドライ真空ポンプ＋排ガス処理装置一体型システム）、CMP 装置、実装めっき装置、ベベル研磨装置、オゾン水製造装置■ 出展の見どころ持ち運び可能なEV-PA 型等の小型・省エネタイプの空冷型・水冷型ドライ真空ポンプや更なる大流量化を達成した排ガス処理装置、半導体の超微細化を実現するCMP装置、Fan-out などの最先端パッケージング技術に不可欠なめっき装置、歩留り低下の原因となるウエハ端面の欠陥を除去するベベル研磨装置などの展示を行います。VAT 株式会社（4407）■ ストラテジックマーケティング部■ 〒221-0056 神奈川県横浜市神奈川区金港町2番地6 横浜プラザビル7FTEL 045-440-0341　FAX 045-440-0342　http://www.vatvalve.com■ 出展製品ゲートバルブコントロールバルブ■ 出展の見どころSEMICON2018弊社ブースでは最新のゲートバルブ、コントロールバルブ、モーションコンポーネントなど最新のVAT 製品が搭載されているマルチバルブモジュールを通して、実際のバルブの動きがご覧頂きながら、ご要求にあったご提案をさせていただきます。ご多用中とは存じますが、是非この機会にご来場の上、弊社ブースにお立ち寄りください。心よりお待ちしております。ゲートバルブドライ真空ポンプHALL ４HALL ４HALL ４