ブックタイトルセミコンジャパン2018出展特集

概要

セミコンジャパン2018出展特集

16 SEAJ Journal 2018. 11 No. 163株式会社SCREEN セミコンダクターソリューションズ（5445）■ 社長オフィス　企画部■ 〒602-8585 京都市上京区堀川通寺之内上る四丁目天神北町1番地の1TEL 075-417-2517　FAX 075-417-2546　https://www.screen.co.jp/spe/■ 出展製品「枚葉式洗浄装置 SU-3300」　「コータ・デベロッパ DT-3000」 （NEW）　「レーザーアニール装置 LT-3000」　「コンパクトウェットステーション CW-2000」　「大型パネル用直接描画装置 DW-6000」　「検査・計測装置 RE/VM/ZI-3500」、他■ 出展の見どころ～ Power of Solution：　SCREEN の強みの源泉～300㎜ウェーハ洗浄装置、コータ・デベロッパ、熱処理装置、外観検査装置をはじめ、IoT/AI/ 自動運転時代の各種デバイス製造に向けた多様なラインナップを展示。更に今年は、Power of Solution コーナーを新設して、技術・開発、コラボレーション、生産、サポートの分野においてSCREEN が提供するソリューションを紹介します。日本電子株式会社（5335）■ ブランドコミュニケーション本部　ブランド企画推進部■ 〒100-0004 東京都千代田区大手町2-1-1　大手町野村ビル13階TEL 03-6262-3560FAX 03-6262-3577https://www.jeol.co.jp■ 出展製品透過/ 走査電子顕微鏡および関連周辺機器やサービス電子ビーム描画装置■ 出展の見どころ電子顕微鏡によるデモンストレーションや分析手法の提示、また、電子ビーム描画装置の紹介等を行います。株式会社 ニューフレアテクノロジー（5618）■ 営業部■ 〒235-8522 神奈川県横浜市磯子区新杉田町8番1TEL 045-370-8933　FAX 045-370-9936　http://www.nuflare.co.jp■ 出展製品電子ビームマスク描画装置　MBM-1000, EBM-9500PLUS, EBM-9500, EBM-9000　　　　　　　　　　　　　EBM-8000P/H, EBM-8000P/Mマスク検査装置 NPI-8000枚葉式Gan-on-Si 用MOCVD 装置 EPIREVOTM G8枚葉式SiC Epi 装置　EPIREVOTM S6■ 出展の見どころ最先端からミドルレイアまでの電子ビームマスク描画装置をラインナップ：　MBM-1000, EBM-9500PLUS, EBM-9500, EBM-9000, EBM-8000P/H, EBM-8000P/M高生産性と高機能を兼ね備えた最先端マスク検査装置：NPI-8000GaN パワーデバイス(HEMT) の生産に適切な150/200mm 枚葉式GaN-on-Si 用MOCVD 装置：　EPIREVO TM G8低欠陥・高度成長でSiC エピタキシャル成長により、SiC パワーデバイスの低コスト生産を実現するSiC Epi 装置：EPIREVO TM S6世界に誇る製品をご紹介致します。走査電子顕微鏡電子ビームマスク描画装置HALL ５HALL ５HALL ５枚葉式洗浄装置 SU-3300