ブックタイトルSEMICON China 2019レポート

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SEMICON China 2019レポート

SEMICON China 2019レポートSEAJ Journal 2019. 4 No. 165 23ウェーハモールド機「CPM1080」と蘇州( 中国現地) 製造のPKG ソー装置「FMS3040」を展示した。「今年は中国のローカルメモリー企業の立ち上がりに合わせ、メモリーパッケージにも使用されるコンプレッション装置「PMC2030-D」の販売に力を入れていく」（TOWA 上海の多井総経理）という。米中摩擦の焦点となっているファーウェイは、スマホに搭載する米国製半導体の輸入が制限、もしくは禁止されることを警戒している。「このリスクを回避するため、ファーウェイは自社でアプリケーションプロセッサー（AP）を完全供給できるようにしようと計画している」（中国のスマホ業界関係者）。ファーウェイは現状、自社のスマホにグループ内のハイシリコン（海思半導体、広東省深セン市）とクアルコム（米国）、メディアテック（台湾）のAP を使用している。「将来的にこれらの全てをハイシリコンのAP に置き換えようと考えている」（中国OSAT 関係者）。米国の中国バッシングにより、中国企業の多くがなんとしても国産化しなくてはならないという決意を強めている。■中国の国産装置が勢ぞろい展示会に出展した日本の装置部品メーカーの複数社にヒアリングすると、会社全体としては19年の業績は前年よりも落ち込むが、中国市場に限定してみると30％増前後のプラスになるという回答が多かった。中国での出荷はSMIC（中芯国際集成電路制造、上海市）などの半導体工場向けの交換需要というよりも、中国の製造装置メーカーが圧倒的に多いという。「中国の装置メーカーが力を着けてきており、精密バルブや自動化制御部品など高品質の日本製パーツの需要が高い」（日本の部品メーカー役員）。中国の半導体用の製造装置メーカー最大手のノーラ（NAURA、北方華創微電子装備、北京市） はCVD やPVD、プラズマエッチング装置を製造していた北方微電子と縦型拡散炉やLPCVD、洗浄装置、マスフローコントローラーなどを製造していたセブンスター（七星華創電子、北京市）が合併。17年8月に洗浄装置メーカーの米アクリオンシステムズを買収。中国政府系の半導体ファンドなどの豊富な資金支援をもとに事業拡大に積極的だ。日本の大手装置メーカーの日本工場で10年以上働いていた中国人技術者を招聘して、開発に取り組んでいる。AMEC（中微半導体設備、上海市）は米アプライド・マテリアルズ（AMAT）出身の中国人幹部によって設立された。上海の浦東新区金橋輸出加工区と江西省南昌市に装置工場を展開している。主力製品は、プラズマエッチング装置（65nm、45nm、28nm、22nm、1Xnm に対応） とMOCVD 装置（青色LED 用、４インチで34枚同時処理）だ。MOCVD 装置は南昌工場でも生産している。キングセミ（芯源微電子設備、遼寧省瀋陽市）はコーター・デベロッパーを生産している。数年前から日本の大手装置メーカー元幹部を技術顧問として雇い、技術開発を進めてきた。TSMC がアップルのAP 向けに開発したFan-out パッケージ（TSMC ではInFO と呼ぶ）用のコーター・デベロッパーで16年に採用が決まり、TSMC の徹底的な技術改善要求に応えることで技術を蓄積した。キングセミはこれまでにTSMC に30台以上を出荷している。AMEC の1X 対応のプラズマエッチング装置「Primo nanova」のサンプル模型パイオテック（拓科技、遼寧省瀋陽市）のPECVD 装置「PF-300T」の模型