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半導体製造装置用語集
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【T・U・V・W・X・Y・Z・記号】

TAB
Tape Automated Bonding
Tape Carrier Package
TAT
TCAD
TCP
TDI
TDRタイミング測定手法
TED
TEG
TEM
Test Element Group
Time Domain Reflection
Time Resolved Photo Emission Microscope
TMR
Transient Enhanced Diffusion
Transmission Electron Microscope
ULPAフィルタ
Ultra Low Penetration Air
Ultra Violet
Uniform Temperature Control
Universal Slot Architecture
UV
Vertical type
Virtual Sensor
Wafer Level Packaging
WIP
WLP
X-Factor
X-ray Photoelectron Spectrometer
XML
XPS
Yield Management System
YMS [ Factory Integration ]
YMS [ 計測 ]
ZFB
ΔIDDQ方式



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