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半導体製造装置用語集
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【P・Q】

P+ポリシリコン
PCクラスタ
PCRAM
Peripheral
Perfluorocompound
Per-pin TG Resource
PFC
PGILD
PGV
Phase Field 法
Phase Shift Mask
PIC法
PIII
Plasma doping
Plasma Immersion Ion Implantation
PLC
PM/予防保全
Pocket注入
Point of Use Chemical Generation方式
POUCG方式
Prestonの式
Probe Card
Projected Gas Immersion Laser Doping
QFN
QFP
QTAT
Quad Flat Non-Lead Package
Quad Flat Package



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