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半導体製造装置用語集
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TOP用語検索方法選択>技術分野検索:【計測(metrology)】

計測(metrology)

1.形状観察
Diffractogram Tableau
HAADF-STEM (High-Angle Annular Dark-Field Scanning Transmission Electron Microscopy)
STEM (Scanning Transmission Electron Microscope)
TEM (Transmission Electron Microscope)
原子間力
AFM (Atomic Force Microscope)

2.欠陥検査
EPMA (Electron Probe Micro Analyzer)
XPS (X-ray Photoelectron Spectrometer)
SEM (Scanning Electron Microscope)
ADC (Automatic Defect Classification)
ADR (Automatic Defect Review)
UV (Ultra Violet)
DUV (Deep Ultra Violet)
YMS (Yield Management System)
HAR (High Aspect Ratio)
FIB (Focused Ion Beam)
EDX (Energy Dispersive X-Ray Spectroscopy)
MDC (Manual Defect Classification)
DFM (Desigh For Manufacturability / Manufacturing) 製造のための最適設計

3.in-situ測定
In-situ測定
研磨終点検出
コンタクトホール
ビヤホール
層間絶縁膜(ILD)
ディシング
エロージョン
スラリー



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