SEAJ 一般社団法人 日本半導体製造装置協会
TOPEnglish 会員専用
半導体製造装置用語集
技術分野検索
TOP用語検索方法選択>技術分野検索:【リソグラフィ (Lithography)】

リソグラフィー(Lithography)

多層レジストプロセス
変形照明 ( 斜入射照明 )
位相シフト、PSM ( Phase Shift Mask:位相シフトマスク )
OPC ( Optical Proximity Correction:光学近接効果補正 )
ME(E)F ( Mask Error ( Enhancement ) Factor )
複屈折 ( birefringence )
ULPA ( Ultra Low Penetration Air ) フィルタ
SR ( Synchrotron Radiation )
発光点出力
集光点出力
LER ( Line Edge Roughness )
APC ( AdvancLcess Control )



個人情報保護方針サイトマップお問い合わせ