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半導体製造装置用語集
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【L】

L.O.C.
L/L
Laser Thermal Annealing
Laser Voltage Probe
LDD
Lead On Chip
LER [ ウェーハプロセス ]
LER [ リソグラフィ ]
Lightly Doped Drain
Line Edge Roughness [ ウェーハプロセス ]
Line Edge Roughness [ リソグラフィ ]
Liquid Crystal Analysis
Load Lock
Local Buffer Station
Long Throw Sputter
Low Pressure Chemical Vapor Deposition
LPCVD
LTA
LTS
LVP



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