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半導体製造装置用語集
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【D・E】

DAF / DAF方式 (Die Attach Film Method)、ダイアタッチフィルム方式
DALSあるいはRIL / SDL
DDA
DDC法
debris
DEE
Deep Ultra Violet
Device Under Test Board
DFM (Desigh For Manufacturability / Manufacturing) 製造のための最適設計
Diffractogram Tableau
DPS
Duplex System
DUTボード
DUV
EB Tester
ECR
EDA
e-Diagnostics/リモート保守
EDX
EEC
EEQA
EEQM
EES
EESデータインターフェース
EFEM
electro-migration 耐性
Electron Beam Tester
Electron Cyclotron Resonance
Electron Probe Micro Analyzer
EM 耐性
Energy Dispersive X-Ray
EPD
EPMA
EPT
Equipment Engineering System
Equipment Front End Module
Excimar Laser Doping
ex-situ



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