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「IRDSとSDRJの概要とリソグラフィー技術ロードマップ」
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株式会社 先端ナノプロセス基盤開発センター(EIDEC)
代表取締役社長
石内 秀美様
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IRDS (International Roadmap for Devices and Systems)とSDRJ (システムデバイスロードマップ委員会、the System Device Roadmap Committee of Japan)の活動状況を紹介したあと、最新のIRDSの概要とその中のリソグラフィー技術ロードマップについて解説します。
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17:00〜18:00 ご講演終了後、講師を囲む情報交換会を致します。
会場にお飲み物をご用意いたします。 |
【対象】 SEAJ正会員・賛助会員限定となります。
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【参加費】 無 料
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【お申し込み方法】 件名を 「技術講演会 12/21」 として、ご連絡先を記載の上、 info@seaj.or.jp までメールにてお申し込み下さい。(要 ご参加者のe-mailアドレス・電話番号)
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【定員】 40名
9/25(月)までにお申込下さい。以降はお電話にてお問い合わせ下さい。 |
【担当】 事務局 星野・後藤 info@seaj.or.jp 03-3261-8262
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