SEAJ 一般社団法人 日本半導体製造装置協会
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活動紹介
技術部会
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技術部会・各委員会 組織(2016/7現在)
技術部会
装置制御技術専門委員会 (2015/6発足:活動期間 15-16年度)
リソグラフィ専門委員会 (2016/6発足:活動期間 16-17年度)
ウェーハプロセス専門委員会 (2016/6発足:活動期間 16-17年度)
検査専門委員会 (2016/6発足:活動期間 16-17年度)
【委員会活動報告】
●2015年度(2016年7月○日公開予定です。)
●2014年度(2015年7月21日公開しました。)
●2013年度(2014年7月14日公開しました。)
技術部会 関連情報
半導体装置技術専門委員会 450mm化に関する報告(2013.9.3更新)
ウェーハプロセス分科会(2013.9.3UP) 検査分科会(2013.6.17UP)
リソグラフィ分科会(2013.6.17UP)
   
 半導体製造装置技術ロードマップ活動関連
 EES高度化専門委員会
[お知らせ]
[2016/7/11]

技術部会内 専門委員会への委員登録のお願い

[2015/7/21]

技術部会内:専門委員会活動報告を公開しました。

   


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