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リソグラフィー専門委員会主催 技術講演会

「EUVL最新技術動向」

 

   リソグラフィ専門委員会(高橋和弘委員長/キヤノン株式会社)では、活動テーマに『EUVL についての最新技術動向の調査・研究』 を挙げ、最新の微細化技術、市場の装置に対する要求・仕様調査をしてまいりましたが、この度有識者の方による技術講演会を企画いたしました。
  ご参加される方は、この講演でEUVLの最新技術動向がご理解いただけるかと 存じます。
  ご関係者はもちろん、周りにご興味のある方がいらっしゃいましたら、 ご紹介いただけますと幸いです。
  皆様のご参加をお待ち申し上げます。

※ 「技術講演会」3/31(金)へのお申込みありがとうございます。

参加者多数のため会場を↓のとおり変更致しましたのでお知らせいたします。

                 旧)SEAJ会議室

                 新)自動車会館 2F 大会議室

◆自動車会館◆

東京都千代田区九段南4-8-13 TEL:03-3264-4719

http://www.jidosya-kaikan.com/map.html

ご案内図 JR・都営地下鉄・メトロ 「市ヶ谷」駅 【地下鉄2番出口】から、徒歩2分

なお、日時は3/31(金)15:00(受付14:45)に変わりございません。


開催日程
開 催 場 所

2017年3月31日(水)

15:00(受付14:45)〜17:00

自動車会館 2F 大会議室
島津製作所 東京支社 地図
       
@15:00-16:00
A16:00-17:00

エーエスエムエル・ジャパン株式会社

テクニカルマーケティングディレクター

森崎 健史様

ギガフォトン株式会社

代表取締役副社長 兼 CTO

溝口 計様

  EUVの装置ロードマップ、最新のデータ(フィールドでの光源パワー、Availability等のデータ、最 新装置でのOverlay, CDのデータ等)のご紹介を通してEUVのIndustrializationの状況についてア ップデートいたします。

 また、最後にHigh NA EUV の開発に関しても少し触れさせていただく予定です。

  
準備中

 【対象】 SEAJ正会員・賛助会員限定となります。

  【参加費】    無 料

  【お申し込み方法】  件名を「技術講演会3/31」として、ご連絡先を記載の上、  info@seaj.or.jp までメールにてお申し込み下さい。(要 ご参加者のe-mailアドレス・電話番号)

【定員】 40名

 12/15(木)までにお申込下さい。3/24(金)以降はお電話にてお問い合わせ下さい。

【担当】 事務局 今井・後藤 info@seaj.or.jp  03-3261-8262





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